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ITO圖形的蝕刻

發(fā)布時(shí)間:2014-07-27

  中山市錦潤電子生產(chǎn)LCD液晶顯示屏,現(xiàn)簡單介紹前工序ITO蝕刻的流程及參數(shù):

    1,ITO玻璃的投入:根據(jù)產(chǎn)品的要求 ,選擇合適的ITO玻璃裝入傳遞其中,要求ITO玻璃的規(guī)格型號符合產(chǎn)品要求,切記ITO層面一定要向上插入籃中,

   2,玻璃的清洗與干燥:將用清洗衣劑以及離子水(DI)等洗凈ITO玻璃,并用物理或者化學(xué)的方法將ITO表面的雜質(zhì)和油污洗衣凈然后把水并干燥,保證下道工藝的加工質(zhì)量。

  3,涂光刻膠:在ITO玻璃的導(dǎo)電支面上均勻涂上一層光刻膠,涂過光刻膠的玻璃在一定溫度下任預(yù)處理:

  4,前烘:在一定的溫度下將涂有光刻膠的玻璃表面粘附性。

  5,日光:用紫外光(UV)通過預(yù)先制作好的電極圖形掩模版

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